为了实现单晶背钝化PERC电池最优化背钝化效果，找出最佳工艺条件，利用正交实验方法对主要工艺参数因素进行了最优化研究。采用掺镓P型单晶硅片经过背钝化后测试膜厚、折射率以及电池片最终的转化效率等电学性能参数。通过正交实验表明，背钝化的最优化工艺条件为0.25 mbar的工艺腔压强、360 ℃温度设定、2.8的NH3/SiH4比率、1 500 W的微波功率，在该条件下电池的平均测试效率可达22.35%，且Voc以及Isc等电学性能指标均达到较高水平。