为了提高激光自混合干涉仪在位移测量中的精度，将相位调制技术引入激光自混合干涉系统中，通过在激光器的外腔中放置的电光调制器对光束进行正弦相位调制，采用傅里叶变换在频域中重构自混合干涉信号的相位。采用截止阶数的方法对系统的动态测量范围上限进行了理论分析，获得了正确解调相位所需的电光晶体的最低调制频率与被测振动的频率和振幅的关系。将系统应用于高精度商用压电陶瓷的振动过程的测量，测量数据与Agilent 5529A动态校准仪的同步测量结果进行比对，结果表明，相位调制型激光自混合干涉仪适合于动态信号的实时

采用正弦相位调制技术与时域解调相位方法相结合，提高激光自混合干涉仪在大量程位移测量中实时测量的准确度和速度。通过在激光器外腔中放置的电光晶体调制器对光束进行正弦相位调制，采用时域解调相位方法解调干涉信号相位。同时满足了大量程位移测量过程中的速度要求以及实现干涉仪位移测量的实时性。实验上，用PI公司高分辨率的商用电动位移平台标定的结果验证了该正弦相位调制激光自混合干涉仪在百毫米级大尺度位移测量中可达到小于0.5 μm的位移测量误差。对干涉仪在实时位移测量中的影响测量速度的因素进行了分析，得出了本干