拉曼光谱检测中常用的CCD对温度较为敏感，降温可以有效降低其暗电流噪声。基于此，设计了一套制冷系统，采用有限元分析软件ANSYS分别模拟散热模块的导热情况及真空室内低、中真空度下气体流动热交换情况；实验测量了低、中真空度范围内不同真空度下温度随制冷时间变化的特性曲线,以及真空室内充入氩气、氖气、氮气作为保护气体时温度随制冷时间变化的特性曲线。结果表明氮气效果较好，并非真空度越高制冷效果越好，这与热模拟结果相符。测量了CCD在不同温度下的暗电流噪声，结果显示CCD温度对暗电流噪声影响较大，制冷可以