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  1. 氮氧化硅基高分辨率芯片光谱仪

  2. 浙江大学何建军教授课题组利用SiON作为波导芯层从而获得高折射率差,并结合刻蚀衍射光栅优秀的光谱分析功能,在9 mm×6 mm大小的芯片上首次制成了工作于850 nm附近波段旳高达0.25 nm波长分辨率的集成光谱仪。该研究成果将发表在Chinese Optics Letters 2013年第3期上。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-03-04
    • 文件大小:1048576
    • 提供者:weixin_38560768