引言 　　现代汽车正由一个单纯交通工具朝着能满足人类需求和安全、舒适、方便及无污染的方向发展。要实现这些目标的关键在于汽车的电子化和智能化，先决条件则是各种信息的及时获取，这势必要求在汽车中大量采用各种传感器。传统的传感器往往体积和重量大、成本高，它们在汽车的应用受到很大的限制。 　　近几年来，从半导体集成电路（IC）技术发展而来的微机电系统（microelectronmechnicalsystem,MESM）技术日渐成熟。微型传感器是目前最为成功并最具实用性的微型机电器件，主要包括利用微型