提出了一种结构模型来分析由工艺引起的波导侧壁起伏对于聚合物波导光学梳状滤波器的滤波特性的影响。含氟聚酰亚胺高分子聚合物制备多级马赫曾德尔串联型光学梳状滤波器件的工作参量为中心波长1550 nm,波长间隔为0.8 nm,40通道的波长交错分离。模拟计算表明,对由高分子聚合物材料制备的多级马赫曾德尔串联型光学梳状滤波器件,其主要影响是增大了信道之间的串扰,中心波长1550 nm处的信道串扰由理想情况下的-40 dB降为-12 dB,极大地影响了器件的性能。在此基础上,提出一种改善光学梳状滤波器串扰性