采用简单的有机-无机混合的溶胶-凝胶方法制备了折射率在一定范围内可调的波导材料,并利用其制备了平面波导环形谐振腔器件。波导结构呈现倒脊形,其制备工艺首先是利用感应耦合等离子体刻蚀技术(ICP)在二氧化硅衬底上刻蚀波导结构的凹槽,然后再沉积波导薄膜。利用光谱仪对器件的传输特性进行了测量,观测到具有10 dB对比度,自由光谱范围0.182 nm周期性谐振现象,结合环形谐振腔的传输特性,得到环形腔具有较低的传输损耗1.7 dB/cm。同时对环形谐振腔的温度特性进行了测量,得出波导材料的热光系数为-1.

对于光学波导与导波设备、电路的制造而言,溶胶-凝胶工艺的出现不失为一种有效途径.特别是集成光学有源器件及电路中掺活性掺杂物(如钕、铒、铈).本文回顾了基于溶胶-凝胶工艺的有源器件、电路的最新研究.对于光学放大器中的激活溶胶-凝胶薄膜的模拟分析,我们提出激光器原子磁化理论及其速率方程,适当考虑了波导参数.采用波束传播法研究激活掺杂溶胶-凝胶薄膜设备(如直线波导、丫形支管、定向耦合器)的传播及增益特性.也在研究掺铈薄膜中布拉格光栅的形成,在微电机系统(MEMS)的未来应用也在研究中,可采用溶胶-凝胶

总结了光化学传感器的机理及其发展现状，特别介绍了近年来发展较快的利用表面等离子体激元共振（SPR）效应及溶胶-凝胶（sol-gel）法薄膜工艺制备的波导式、光纤式化学传感器，讨论了发展中存在的问题，提出了今后的研究方向。