提出了一种可用于绝对距离测量的光纤扫描干涉仪。基于数字信号处理技术,设计了一种算法,从而有效地提高了相位的分辨率、滤除噪声和干扰并克服了扫描过程中波长的随机晃动,可达到距离测量所要求的0.05 μm的精度和0.01 μm的分辨率。

用电光调制器将连续光波调制成脉冲光波,借助非平衡Michelson扫描干涉仪将波长漂移信息变为相移信息,来自各传感元的信号利用程控延时信号对电子开关通导的控制来实现时域地址查询,经带通滤波处理,用相位计监测相移进而判断应变的大小.实验证实分辨率为6nε的4光栅系统传感灵敏度的实验值为1.63Deg/με.

在双波长半导体激光(LD)正弦相位调制(SPM)干涉仪中，通过注入电流调制LD波长的同时，光源的输出光强也被调制，影响了测量精度。提出了一种新的双波长LD SPM干涉仪，通过对干涉信号进行处理，得到与干涉信号相位相关的线性方程组，利用该方程组精确计算相位，消除了光源光强调制的影响，使测量误差由6 μm减小至1 μm，并利用该干涉仪与波长扫描技术相结合实现了绝对距离的测量，当待测距离为60~280 mm时，测量结果的重复性为1 μm。