分析了可用于绝对距离测量的波长扫描法布里-珀罗干涉仪腔内多光束干涉对输出信号的影响, 及由此产生的相位测量误差。 研究表明, 通过选择合适的腔端面反射率和参考腔长度可以减小相位测量误差。 优化选择的腔面反射率为0.10～0.15, 参考腔长为0.95 mm, 在1 mm范围内系统可达到0.05 μm的测距精度。