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  1. 波面干涉测量中的可变像差补偿技术

  2. 以非球面为代表的复杂面形在现代光学系统中的应用越来越广泛,因为它比球面提供了更多的设计自由度,可用更少的元件达到更优的成像质量。然而非球面的多样性也带来了面形测量的难题,传统的零位测试没有灵活适应不同面形的能力。可变像差补偿技术对于提高检测柔性和效率具有重要意义。针对回转对称非球面的球差补偿,分析了部分补偿透镜、相位板组合和高次非球面单透镜等可变补偿方案;针对离轴非球面的像差补偿,分析了倾斜球面系统、Risley棱镜和双回转相位板的可变补偿方案;进而介绍了变形镜和空间光调制器(SLM)作为可编程
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-07
    • 文件大小:13631488
    • 提供者:weixin_38529293