采用模拟退火算法设计了0.2~2.0 THz和0.2~3.0 THz两个波段下的消色差复合太赫兹λ/4波片，在0.2~2.0 THz波段内实现了波片相位延迟偏差小于2%，在0.2~3.0 THz波段内波片相位延迟偏差小于4%。系统分析了不同石英玻片个数对消色差复合太赫兹波片的消色差性能以及厚度和损耗等关键参量的影响。分析表明，随着石英玻片个数的增加，波片的消色差性能也会变好，在相应太赫兹波段相位延迟失谐量也随之减小；但同时，波片的厚度也随之增加，导致对太赫兹波的损耗增加。在0.2~2.0 THz