高精度的重复性是保证检测精度的前提，也是精密检测中最重要的指标之一。在Fizeau干涉仪中，干涉腔对环境特别是温度的变化非常敏感，温度的变化和非均匀性是测量的主要误差来源，也是影响测量重复性的主要因素之一。通过研究光在空气中的传播原理，利用Edlen公式建立了Fizeau干涉仪干涉腔的理论模型，并给出了腔长、温度变化大小与干涉仪重复精度的定量关系。理论分析表明，干涉仪重复精度主要跟温度变化大小和干涉仪腔长有关。利用ZYGO公司的干涉仪，通过实验给出了在不同环境中、不同腔长下干涉仪测量重复精度的变