以正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶法制备SiO2溶胶,通过提拉法涂制多孔SiO2减反膜,并在多孔SiO2减反膜上涂制一层甲基三乙氧基硅烷(MTES)预聚体。通过疏水的MTES预聚体涂制在多孔SiO2减反膜上,对多孔SiO2减反膜的表面进行改性,以提高膜层的环境稳定性。经过表面改性的复合膜层的透过率峰值可达99.67%,折射率为1.231,水接触角达123.6°,在相对湿度为95%的环境中放置475 d后膜层的峰值透过率为99.09%,稳定性提高明显。膜层表面平整,激光损伤阈值约为24.5 J/c

多孔SiO2膜层经热处理后,具有很高的激光破坏阈值,但是结构中有许多Si-OH亲水基团,导致光学透过率受环境相对湿度的影响很大。实验目的是改善膜层内部结构,使膜层结构中的亲水基团转变为疏水基团,提高膜层的疏水性,增强膜层的透过率稳定性。系统地研究了膜层透过率随时间变化的规律,在氨气和六甲基二硅氮烷(HMDS)混合气氛下热处理膜层,处理后生成Si-O-Si(CH3)3非极性疏水基团,使膜层的疏水性大大提高,因而膜层的透过率稳定性有大幅度提高。稳定性的提高延长了膜层的寿命。处理后膜层的表面粗糙度良好

溶胶凝胶法制备减反膜在高功率激光装置中有着重要运用，通过控制水与正硅酸乙酯(TEOS)不同特质的量之比制备不同粒径大小的二氧化硅悬胶体及二氧化硅减反膜，可以研究悬胶体粒径大小对溶液及膜层的激光破坏阈值、光学减反效率稳定性影响。结果表明制备获得的多孔性SiO2减反膜透射率均高于99.5%，激光破坏阈值均大于62 J/cm2(1064 nm,15 ns)，其中粒径小的SiO2减反膜透射率达到99.75%，激光破坏阈值高达77.42 J/cm2(1064 nm,15 ns)。随着水酯物质的量比值增大，