以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,用溶胶-凝胶(SOL-GEL)法在碱性催化条件下制备二氧化硅膜,经氨气氛和热处理工艺,提高了二氧化硅增透膜的抗擦拭和抗氙灯辐照能力,可用于激光器泵浦光学元件的增透。在570～800nm范围内,双面涂膜的K9玻璃的平均透过率可提高到98%以上。