普通的TEM00模激光,其光束横截面的光强度呈高斯分布。使用这样的光束不能获得均匀一致的照明光。要获得均匀一致的照明,建议采用透过率为反高斯分布(中心透过率低)的滤光方法。C. S. Ih曾把Nd玻璃制作的平凸透镜用于准直仪镜头进行滤光试验,获得了强度变化在以内的均匀光束。可是采用这种方法,必须同时满足滤光和准直的要求,因此在设计上受到了玻璃材料特性的限制,而且Nd玻璃最佳浓度的调节和透镜的加工等也不易进行。
To prevent the injury of human body from X-ray damage and obtain the-ideal picture has been a problem for all the operators concerned.The article describes the principles, testing method and examples when a laser aligner is used to solve this problem