利用高功率横流CO2激光器，研究了高速激光加工条件下，激光功率的微观波动对材料加工质量的影响，分析了加工质量与加工速度的关系，讨论了高速加工条件下激光束质量的评价指标。结果表明，高功率横流CO2激光器采用直流激励，由于直流激励主、副电源的整流、叠加效应，使电压、电流产生300 Hz波动，导致激光功率产生300 Hz的波动。低速加工时对加工质量的影响可忽略不计，但当高速加工时，将产生300 Hz的深浅、宽窄变化。因此应针对高速、高质量加工的需要，提出“时间光束质量”评价指标。