针对激光加工陶瓷产生裂纹的问题，进行了实验研究.得出了消除加工裂纹的工艺条件，开发了一种实用的激光复合加工法.

尝试了利用激光进行石英陶瓷刻蚀加工的方法，采用紫外激光器和光纤激光器进行了刻蚀加工实验。加工样品的测试由台阶测试仪以及扫描电镜(SEM)完成，主要观测加工样品的刻蚀深度、刻蚀底面的微观形貌等。实验结果表明，利用激光对石英陶瓷进行刻蚀加工，相对于砂纸或金刚石刻蚀其优点在于激光可以刻蚀出设定的准三维立体结构，刻蚀尺寸、深度可以精确控制。刻蚀量与激光的能量密度、扫描速度等有密切关系。光化学作用与光热作用原理的不同是造成紫外激光和光纤激光的刻蚀结果不同的主要因素。

采用波长为532 nm 的短脉冲激光(脉宽6 ns)对Y-TZP陶瓷进行铣削实验研究。探究了单次刻蚀槽宽与功率的关系，分析脉冲数与材料阈值的关系，确定材料阈值。并且探究了铣削量及质量随激光工艺参数的变化规律，确定最优工艺参数，进一步进行了脉冲激光铣削微米级二维结构的工艺实验。研究结果表明槽宽的平方与脉冲峰值功率的对数呈线性关系，根据此关系式计算得出光斑半径与实际测量值相符。材料阈值随脉冲数增加而降低，在扫描速度、功率和重复频率的最优匹配下，可实现最大铣削量为1.35 mm3/min。在优化工艺参