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  1. 激光晶化制备多晶硅薄膜技术

  2. 激光晶化是一种制作晶硅薄膜器件(如薄膜晶体管、太阳能电池)很有效的技术。展望了低温多晶硅薄膜的应用前景，详细介绍了近几年激光晶化制备多晶硅薄膜技术的研究成果，并就激光对非晶硅作用的原理作了简单讨论。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：707584
    • 提供者：weixin_38708361