激光清洗技术是基于激光与物质相互作用的一种新型清洗技术，能达到清除物体表面污染物的目的[1,2]。与其他清洗方法（机械清洗、化学清洗、超声波清洗等）相比，激光清洗技术具有以下优势： 1）无损情况下有效地清除基底表面微米量级污染物；2）对基底不产生附加污染；3）可精确定位的精细清洗；4）清洗效率高；5）远距离清洗，清洗难以到达的部位；6）“绿色”环保等。