应用高能量单脉冲激光作用在锆钛酸铅(PZT)压电薄膜上,研究脉冲激光的热冲击对PZT薄膜性能产生的影响.发现在激光未烧熔薄膜的能量密度下,经过激光作用后,PZT薄膜的铁电性能发生变化:在外加电压为6 V时,剩余极化强度值Pr从32.699 μC/cm2变到26.316 μC/cm2;矫顽电场保持为38.396 kV/cm不变;疲劳性能变稳定,在循环1.75×109次时Pr衰变率由44.3%变为34.7%.最后讨论分析了产生这种现象的微观机理.