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  1. 激光直接光刻制作微透镜列阵的方法研究

  2. 介绍了利用激光直接光刻技术制作8相位台阶菲涅尔衍射微透镜列阵的工艺方法，并对元件的衍射效率及光刻过程中的制作误差进行了分析，透镜列阵在小形夏克-哈特曼波前传感器中得到了应用。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：375808
    • 提供者：weixin_38551938