光的衍射（或称绕射）是光的波动性的反映。当光遇到障碍物或孔时，可以绕过障碍物到达按几何光学（光的直线传播）要成为“阴影”的区域或到孔的外面去，这种现象称为光的衍射。由于光的波长较短，因此只有当光通过很小的孔或狭缝或细丝时，才能有明显的衍射现象。激光衍射传感器利用了激光单色性好、方向性好、亮度髙的特点，使光的衍射现象能真正应用于微小直径、位移、振动、压力、应变等高精度非接触测量中。例如，测量0.1 mm以下的细线外径，测量精度可达0.05 μm。