针对3 kW 半导体激光器应用于机器人表面改性系统,聚焦光斑不均匀问题,提出了一种采用菲涅耳透镜对面阵高功率半导体激光器输出光斑进行聚焦匀化的方法,设计出尺寸为10 mm×2 mm 的均匀矩形光斑。利用Zemax 和Matlab 软件进行仿真分析,研究了菲涅耳透镜楞距和入射光发散角对聚焦系统焦斑均匀性的影响。结果表明,当菲涅耳透镜楞距在1 mm 以内时,焦斑均匀性最佳约为94.90%。随着楞距的继续增大,输出光斑均匀性会逐渐降低。当楞距增大到2.5 mm 后,光斑的均匀性不再随楞距的增大而变化,