采用高功率CO2激光诱导高纯硅烷气相反应,制备出粉体平均粒径为10～120 nm,晶粒度与平均粒径比为0.3～0.7的各种纳米结晶硅粉。制备出的硅粉粒度均匀,粒子呈球形,但部分粒子间出现烧结。粉体粒径随激光功率、反应压力的增加而增加,随硅烷流量、稀释Ar气的增加而减小。晶粒度对硅烷流量和反应压力的变化不敏感,但随激光功率的降低和混合Ar气的增加而明显减小。Si粒子的形成经历了单晶粒子的生长和这些粒子间的碰撞生长过程。