用光学显微镜分别测量了1.06 μm激光辐照硅、锗材料形成表面波纹的形貌特征.在激光辐照材料形成初始表面波纹之后,后继激光对最终波纹的增长起正反馈作用.当激光功率密度略大于材料损伤阈值时,材料表面呈现周期性的波纹结构;当激光功率密度远大于材料损伤阈值时,材料熔融区内出现无规则的随机分布波纹.激光辐照硅、锗材料产生的波纹结构与材料的性能、表面状况和实验中使用的激光参数密切相关.同时,分析了表面波纹结构对激光光束传输特性,以及激光与材料相互作用产生破坏效应的影响.