为了提高双光纤点衍射干涉仪的检测精度，需要对干涉仪装置中两个波前参考源(WRS)的系统误差进行标定。设计了波前参考源的标定过程及标定算法，通过沿被检光学系统光轴四次旋转90°求出波前参考源的沿轴旋转非对称误差，沿倾斜轴四次旋转90°求出波前参考源的沿倾斜轴旋转非对称误差，然后利用两者之差采用最小二乘法求出波前参考源的旋转对称误差，将对称误差和非对称误差相累加求出波前参考源的系统误差。采用计算机模拟了标定算法的整个流程，当波前参考源沿光轴和倾斜轴旋转的旋转公差在±1°范围内时，采用36项泽尼克多项

点衍射干涉仪是现代超高精度面形测量中常用干涉仪，其参考波由一定尺寸针孔衍射产生，因此摆脱了参考元件面形误差对测量精度的限制，使纳米及纳米级以下精度测量成为可能。点衍射干涉仪由于其结构特点，主要的系统误差来源于针孔衍射波与理想球面波的偏差。设计了一种新的点衍射干涉仪系统误差标定结构，降低了对准难度。同时提出了利用干涉图信息计算CCD位置，去除几何结构慧差的方法。搭建了基于双孔干涉的系统误差标定系统，在针孔直径为3 μm时，系统误差为0.009λ。

相移点衍射干涉仪（PS/PDI）是应用于极紫外光刻投影物镜波像差在线检测的高精度检测设备。在介绍国际相关机构PS/PDI研究进展的基础上，重点阐述在干涉仪优化设计、高精度对准、系统误差标定以及干涉图像处理等PS/PDI关键技术研究方面取得的成果。以关键技术研究为基础，开发了一套可见光波段的PS/PDI原理实验装置，并利用该装置检测了极紫外光刻中典型的Schwarzschild投影物镜的波像差，自主开发的20倍缩小Schwarzschild物镜的数值孔径达到了0.2。实验结果表明，干涉仪的重复对准

相移点衍射干涉仪利用测试波和参考波的横向错位产生载波干涉条纹，因此测量结果中必然引入一定的系统误差。在分析相移点衍射干涉仪主要系统误差源的基础上，提出了一种新的系统误差标定方法，即旋转光栅法。该方法根据光栅在正交方向上的两次测量结果，利用泽尼克多项式在单位圆域的正交特性和奇偶对称性质即可标定干涉仪的系统误差。可见光波段的标定实验结果表明，系统的几何彗差为－0.116 λ，与理论计算结果－0.133 λ基本一致，证明了该方法的有效性。