报道了利用低压金属有机汽相外延(LP-MOCVD)工艺首先在硅(n-Si衬底上生长硫化锌(ZnS)薄膜,然后将 硫化锌薄膜在氧气中于不同温度下进行热氧化,制备高质量的纳米氧化锌(ZnO)薄膜。X射线衍射(XRD)结果表明,氧化锌具有六角纤锌矿型结构且具有择优(002)取向。在900 ℃退火的样品的光致发光(PL)中, 观察到一束强 的380 nm紫外光致发光和相当弱的深能级发射。紫外发光强度与深能级发射强度之比是28,表明纳米ZnO薄膜的高质量结晶。