利用有限元软件Ansys对热释电薄膜红外探测器进行热分析,通过建立不同结构的热释电薄膜红外探测器的二维模型,得到不同结构的探测器晶片内的温度分布。对探测器吸收层和热释电层对温度场的影响进行分析。结果表明吸收层的厚度对探测器的热响应度的影响可以忽略,吸收层的宽度和热释电层的厚度对探测器的热响应度有一定影响。