以HF基频激光功率大小作为判断依据, 对燃烧驱动全气相碘激光的燃烧室参数进行了考察。实验结果表明, 在D2流量为10～20 mmol/s时, 相对燃料D2而言, NF3过量30%～70%时可以获得较大的F原子流量, 而稀释He的加入不利于F原子的生成; 加入足够量的DCl, 可以实现F原子全部向Cl原子的转变, 为燃烧驱动全气相碘激光器提供了稳定的Cl原子源。