了解电磁干扰(EMI)在片上电源分配网络中的分布，能为研究芯片电磁抗扰性提供重要的信息。提出了一种感应阵列用于测量EMI的分布。利用感应阵列在电源上产生周期性噪声并将其频谱作为反馈信号，将受测电路的片上电源分配网络当作反馈信号的传输路径，电源引脚作为观测接入点。这种分布测量方法不需要额外独立的供电网络为测量电路供电，不会引入额外的芯片引脚，完全由数字标准单元组成，实现简单。在Global Foundry 180 nm工艺下设计完成了感应阵列，并通过晶体管级仿真和电路实验验证了方法的可行性。