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搜索资源 - 环形子孔径拼接检测非球面中的数据处理和标定
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环形子孔径拼接检测非球面中的数据处理和标定
利用环形子孔径拼接法,无需零位补偿就能够实现对大口径非球面的测量。但是用干涉仪直接测得的各子孔径的相位数据中包含非共光路误差,同时必须把各子孔径的CCD像素坐标统一归化到镜面上,才能够实现全口径的拼接。提出了一种用干涉仪MetroPro软件中的Fiducial功能模块标定坐标投影畸变的新方法,同时利用Zemax软件模拟非共光路误差,并利用编制的相位拟合软件对该误差进行Zernike多项式拟合,从而很好地实现了坐标统一,并使非共路误差从相位分布中剔出。结合实例对一口径为350 mm的非球面进行了拼
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-10
文件大小:591872
提供者:
weixin_38713039