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用于抗反射涂层的非晶Er2O3膜
本文报告说,通过射频磁控溅射技术将化学计量,非晶态和均匀的Er(2)O(3)薄膜沉积在Si(001)衬底上。 椭偏测量表明,Er(2)O(3)薄膜的折射率非常接近用于太阳能电池的单层抗反射涂层的折射率,该太阳能电池在其工作波长期间具有空气周围的介质。 对于90 nm厚的薄膜,在600 nm波长处的反射率最小值低于3%,加权平均反射率(400-1000 nm)为11.6%。 获得的特性表明Er(2)O(3)膜可能是太阳能电池中抗反射涂层的有前途的候选者。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-23
文件大小:666624
提供者:
weixin_38652196