提出了一种可用于绝对距离测量的波长扫描光纤干涉仪。 在时域和频域上, 对其输出信号进行了研究。 理论分析了法布里-珀罗腔多光束干涉所产生的干扰以及扫描过程中波长的随机漂移对输出信噪比的影响。 由此提出了外腔光源结构和加工精度的要求, 并设计了相应的信号处理算法, 达到了距离测量所要求的0.05 μm的精度和0.01 μm的分辨率。

分析了可用于绝对距离测量的波长扫描法布里-珀罗干涉仪腔内多光束干涉对输出信号的影响, 及由此产生的相位测量误差。 研究表明, 通过选择合适的腔端面反射率和参考腔长度可以减小相位测量误差。 优化选择的腔面反射率为0.10～0.15, 参考腔长为0.95 mm, 在1 mm范围内系统可达到0.05 μm的测距精度。