电磁波谱中的软X射线部分位于真空紫外和常规X射线区域之间。通过精确测定，其波长约在10~0.5亳微米范围内。在这些波长处，简单表面垂直入射的反射能力很小，因此，习惯利用掠入射光学元件来聚集辐射。可是，严重的象差却限制了这类圆柱形或圆环形反射镜的聚焦特性，而单色器最好也不过具有中等分辨率，加之一般辐射光通量利用率不高，因此就需要一种在垂直入射的情况下能利用其反射性能的光学元件。据最近的参考文献报道，多层膜可满足这种要求，而且垂直入射光学元件的设计与制造在技术上都是可行的。这表示用于同步加速器装置（