摘要：等离子纳米材料在大面积上具有较高的可访问热点密度，非常适合用于超灵敏的近红外表面增强拉曼散射（NIR.SERS）感测，尤其是那些基于低成本且富含地球的非造币金属的材料。 在这里，我们报告了一种简便的热蒸发方法，以在晶片尺寸的基板上制造以纳米粒子装饰的3D分层铝云状纳米结构，使用785nm激发可以提供更高的拉曼信号增强。 这种增强归因于其接近吸收波长的吸收峰和由大的类似云的纳米结构和/或小的纳米颗粒构成的热点的高密度。 系统测量和统计分析表明，所获得的NIR SERS基板在4英寸晶圆表面上显