利用傅里叶变换(FFT)分析了纳米多层膜的X射线掠入射反射率测试曲线, 模拟了各种制备和测试条件对多层膜结构参数测试结果的影响, 检验了傅里叶变换方法的适用性和精确度。分析结果表明, 相对于传统的反射曲线拟合方法, 傅里叶变换方法具有直观和快速的优点, 在不引入主观的膜层结构模型的情况下可以较为准确地定出复杂的多层膜结构参数, 为多层膜结构表征提供了一种分析方法。