薄膜的损耗系数可以通过测定垂直入射时的透过和反射得到，也可以由测量沿着薄膜波导传输模单位长度的衰减得到。当损耗相当大时，前一种方法有用，而后一种方法则适用于损耗非常小的场合。以色列特拉维夫大学的研究人员最近将导波法加以推广，以较高灵敏度测量中等程度的损耗系数。他们在一层较厚的低损耗材料膜层上沉积待研究材料的薄膜，而这种低损耗材料膜层事先被沉积在一块高质量的玻璃基片上。

采用含氢聚硅氧烷(HPSO)和二乙烯基苯(DVB)的交联体掺入聚二甲基硅氧烷（PDMS）中，使改性的聚二甲基硅氧烷（M-PDMS）折射率发生1%~1.8%的改变。M-PDMS及PDMS薄膜具有良好的光透射率和低的传输损耗，是低成本制备用于高速芯片间光互连聚合物光波导的理想材料。采用软成型和图案转移法，用M-PDMS及PDMS分别作波导的芯层和包层制备了截面为50 μm×50 μm，长度大于20 cm的聚硅氧烷多模光波导。用数字化散射法测量了所制备波导的传输损耗，测得输入光波长为633 nm时平均