按惯例采用表面干涉仪测量平面度偏差。但当待测件严重变形时，会出现大量干涉条纹及封闭干涉环（图1~2)，用干涉测量进行定量分类是困难的。由于其干涉条纹数目多，无法用目视进行快速计值，即使采用目前市售的位移法自动干涉计值系统也有困难。分辨率的标准是矩形探测面上的条纹密度至少需要每个条纹4个象素。