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  1. 用激光检验超大规模集成电路

  2. 检验大规模集成电路和诊断其缺陷的传统办法是使用尖状探针的机械法。但集成电路不断向亚微米尺度的进军以及随之而来的超大规模集成电路的成就要求有更高灵敏度和非接触式的检验方法，这一情况使设计者转向电子束和激光技术。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38705874