用顶点和面片三维显示光刻胶显影模拟结果的方法不支持海量数据。为此提出基于层次结构的三维场景绘制点渲染算法,并引入网格插值法填补显影模拟中在光刻胶表面出现的空洞,用Dill算法、Kim模型和介质光线算法建立光刻显影模型。实验结果表明,该方法能高效、精确、实时地绘制光刻显影模型输出的大规模海量数据。