用X-射线电子能谱仪对TiO_2光学薄膜的组分和价态进行分析.为了避免静电效应引起的ESCA谱峰移动,需要将TiO_2薄膜淀积在Si基体上.可以看出,不论是有吸收的还是透明的TiO_2膜,其主要成分都是TiO_2,在有吸收的TiO_2薄膜中,部分TiO_2已分解为钛的低价氧化物.TiO_2膜表面含有大量的C,可能引起较大的表面吸收.