在分析载体催化甲烷检测原理的基础上,提出采用先进的微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)技术对传统载体催化甲烷检测元件的制作方法进行改进,给出了具体的元件制作流程,并对元件的性能进行了测试。测试结果表明,基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件较传统载体催化甲烷检测元件在功耗、抗中毒、一致性等方面有明显改善。

介绍甲烷催化元件结构,阐述了其工作原理、无焰燃烧化学机理,元件组成成分及相应性能指标,分析了环境因素对元件产生的影响,为实现催化元件的升级换代和深入研究奠定了坚定的理论基础。