本文介绍了在斜置式方形探针测试系统中，如何应用图像识别技术来判定探针在微区的位置，进而控制步进电机，使探针自动定位成方形结构，从而保证测试的准确性，并对测试结构对测试结果的影响，进行了初步论述。 　　关键词： 斜置式方形探针；图像识别；步进电机 　　引言 　　四探针技术是半导体生产工艺中采用的最为广泛的工艺监控手段之一，随着对基片微区性能要求的提高，需要四探针技术提供更加微细可靠的基片性能描述。也就是说要求测试区域越来越小，测试点越来越多。在这种情况下，普通直线四探针的测试分辨率(3mm范围以