1 光栅位移传感器测量原理　　将光源、两块长光栅(指示光栅和标尺光栅)、光电检测器件等组合在一起构成的光栅传感器通常称为光栅尺。当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，在条纹移动的方向上放置光电探测器，可将光信号转换为电信号，这样就可以实现位移信号到电信号的转换。目前使用的光栅尺的输出信号主要有2类：一类是相位角相差90°的2路方波信号，另一类是相位依次相差90°的4路正弦信号。　　　　本文针对输出正弦波的传感器进行了讨论，对于输出为正弦信号的光栅尺，需要对输出