摘要：运用LabVIEW6.1开发了用于气体微流量测量的虚拟仪器，阐明了该虚拟仪器的硬件结构、软件设计思想和具体实现，结合实验数据对不确定度进行了分析。该系统具有测量精度高、界面友好、运行稳定可靠、功能便于扩展等特点。     关键词：虚拟仪器；LabVIEW；气体微流量测量     引言     在真空技术应用中，气体微流量由气体微流量计测量。精确测量气体微流量(或漏率)具有十分重要的意义。例如，为了保持飞船舱内的压力长期工作正常，需要对舱体进行检漏，检漏时不但要找到漏孔位置，还要精确测