目录 前言 第1章 绪论 1 1.1 机械运动控制系统的内容与分类 1 1.1.1 机械运动控制系统的定义、由来与内容 1 1.1.2 机械运动控制系统的分类 3 1.2 机械运动控制系统的应用 6 1.2.1 运动规划 6 1.2.2 多轴插补 7 1.2.3 电子齿轮与电子凸轮 8 1.2.4 比较输出与同步跟踪 8 1.2.5 精密探针位置测量 9 1.3 机械运动控制系统中的非线性及其补偿 10 1.3.1 机械运动控制系统中的连续与不连续非线性 10 1.3.2 机械运动控制系统中

0 引 言 　　振动量值的计量是计量科学中一个非常重要的方面。在现实中，描述振动特性的最常用的量值是位移、速度、加速度。常用的测振技术是接触式测量。在测量物体上安装加速度传感器，利用加速度传感器的电荷输出信号实现加速度-速度-位移的相关测量。如果测量较小物体的振动，附加的传感器质量往往影响被测物体的振动，从而产生测量误差；而且一些工作场合因被测物体表面影响或是测量条件的限制往往不允许在被测物体表面安装测振传感器。因此设计和开发新型的非接触式、高精度、实时性的测振技术一直是工程科学和技术领域中的