硅光子计数器件最近取得了革命性进展，大量新型探测器正进入市场。这些探测器可应用于许多新领域，如荧光寿命成像、正电子发射X线断层显像、辐射探测、高能物理、激光测距（激光雷达）和粒径测量。潜在应用甚至包含新兴的通信技术领域，如保密通信中的量子密钥分配。 　　图1.在纳米压印光刻技术中，重复使用一 个模版大批量的压印预定形状的晶圆。在最终的沉积工序之后，晶圆既可以依尺寸切成方块，也可以再利用压印技术制备其它的功能层。 　　以前，光子计数器建立在三种不同技术平台上。其中之一是以真空管为基础的