红外透射（IR）图像检测系统是最常用的空洞检测系统，可以广泛应用于预键合后和高温退火后空洞的检测，也可以用来观察预键合过程中键合波的扩展情况，改进预键合和高温退火工艺。红外透射（IR）图像系统主要是由红外光源、红外摄像头、图像处理软件和电脑组成，原理图如图2.11所示。由红外光源发出红外光，透射通过键合硅片的红外光由红外摄像头接收，并且把接收到的红外光信号转化为电信号传输到电脑，经过电脑的图像处理软件处理，最后的硅片IR图像显示在电脑的显示器上。 图2.11 红外透射（IR）原理图 红外透射（