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电子测量中的计量光栅读数头的形式
现按光栅读数头的光路布局特点重点介绍直读式和相位式两种光栅读数头。 直读式光栅读数头是指利用垂直照明光束获得莫尔条纹信号的读数头,也称为垂直入射式光栅读数头。图中为两种典型的光路布局形式。其中图1(a)为透射式读数头,图1(b)为反射式读数头。 此类读数头以硅光电池接收系统为代表。由于它结构简单和紧凑,并且硅光电池性能稳定,安装方便,因此得到广泛采用。 直读式读数头适用于栅距大于0.01 mm的照相黑白光栅(即振幅光栅)。对于25~100线对/mm的黑白光栅,主光栅和指示光栅之
所属分类:
其它
发布日期:2020-11-13
文件大小:108544
提供者:
weixin_38693419