非线性是Sigma-Delta（ΣΔ）加速度计系统的关键指标之一。基于一个五阶ΣΔ加速度计结构，分析了其主要的非线性模块，在MATLAB中建立了整体结构的行为级模型，并利用根轨迹法进行了稳定性分析。基于TSMC 0.35 μm工艺实现了一位量化的开关电容接口电路设计和版图设计，版图的后仿真结果和模型的行为级仿真结果一致，验证了所建立模型和设计电路的准确性。